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- 200 1_ |a 硅微机械传感器 |A gui wei ji xie chuan gan qi |d = Mechanical microsensors |f 郑志霞著 |z eng
- 210 __ |a 杭州 |c 浙江大学出版社 |d 2012
- 215 __ |a 199页 |c 图 |d 26cm
- 330 __ |a 本书围绕硅微机械传感器的基本原理、工艺技术、应用领域及接口电路等几个方面展示了介绍和讨论。
- 510 1_ |a Mechanical microsensors |z eng
- 606 0_ |a 传感器 |A chuan gan qi
- 701 _0 |a 郑志霞 |A zheng zhi xia |4 著
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