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• 200 1_ |a 微光机电系统 |A Wei Guang Ji Dian Xi Tong |e MOEMS |f 张文栋, 熊继军编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2006

• 215 __ |a 310页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 光机电一体化技术丛书 |A Guang Ji Dian Yi Ti Hua Ji Shu Cong Shu

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件地结构设计与仿真，常用地微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。

• 410 _0 |1 2001 |a 光机电一体化技术丛书

• 606 0_ |a 微光技术 |A Wei Guang Ji Shu |x 应用 |x 机电系统

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 _0 |a 张文栋 |A Zhang Wen Dong |4 编著

• 701 _0 |a 熊继军 |A Xiong Ji Jun |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HM |c 20060826

• 801 _2 |a CN |b JHUL |c 20061018

• 905 __ |a JHUL |d TH-39/112