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- 000 01245nam0 2200313 450
- 010 __ |a 978-7-122-22618-1 |d CNY30.00
- 099 __ |a CAL 012015044964
- 100 __ |a 20150417d2015 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 薄膜技术与薄膜材料 |A bao mo ji shu yu bao mo cai liao |f 石玉龙, 闫凤英编著
- 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2015
- 215 __ |a 242页 |c 图 |d 21cm
- 320 __ |a 有书目 (第233-242页)
- 330 __ |a 本书共分4章,分别阐述了材料表面防护装饰膜层的物理气相沉积技术(包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀镀膜),化学气相沉积技术(包括简单的CVD相关理论、设备装置、CVD种类等),硬膜及超硬膜的制备技术(金刚石膜、类金刚石膜、立方氮化硼膜、CNx膜及氮化物、碳化物、氧化物薄膜及复合薄膜等),以及利用化学、电化学反应在材料表面制备膜层的技术(包括化学镀、化学氧化、钝化、磷化、电镀、阳极氧化、微弧氧化等内容)。
- 606 0_ |a 薄膜技术 |A bao mo ji shu |x 研究
- 606 0_ |a 薄膜 |A bao mo |x 工程材料 |x 研究
- 701 _0 |a 石玉龙 |A shi yu long |4 编著
- 701 _0 |a 闫凤英 |A yan feng ying |4 编著
- 801 _0 |a CN |b WUL |c 20150417
- 905 __ |a JHUD |d TB43/18