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• 010 __ |a 978-7-111-55733-3 |b 精装 |d CNY169.00

• 099 __ |a CAL 012017034983

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统基础 |A Wei Ji Dian Xi Tong Ji Chu |f (美) 盖德主编 |g 赵永梅, 段瑞飞, 季安译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2017

• 215 __ |a XIII, 394页 |c 图 |d 27cm

• 225 2_ |a 国际制造业先进技术译丛 |A Guo Ji Zhi Zao Ye Xian Jin Ji Shu Yi Cong

• 305 __ |a 据原书第2版译出

• 306 __ |a 由Taylor & Francis出版集团旗下CRC出版公司出版, 并经其授权翻译出版，仅限中国大陆地区销售

• 312 __ |a 英文题名取自封面

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书是MEMS手册中的基础部分, 提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑等内容，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。

• 410 _0 |1 2001 |a 国际制造业先进技术译丛

• 500 10 |a MEMS introduction and fundamentals |A Mems Introduction And Fundamentals |m Chinese

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _1 |a 盖德 |A Gai De |g (Gad-el-Hak, Mohamed) |4 主编

• 702 _0 |a 赵永梅 |A Zhao Yong Mei |4 译

• 702 _0 |a 段瑞飞 |A Duan Rui Fei |4 译

• 702 _0 |a 季安 |A Ji An |4 译

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20170324

• 905 __ |a JHUD |d TN4/188

• 920 __ |a 242450 |z 1