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• 010 __ |a 978-7-122-02445-9 |d CNY39.00

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• 200 1_ |a 微电子材料与器件制备技术 |A wei dian zi cai liao yu qi jian zhi bei ji shu |f 王秀峰, 伍媛婷编

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2008

• 215 __ |a 225页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目 (第224-225页)

• 330 __ |a 本书以微电子材料为对象, 以材料和器件的制备工艺为主线, 系统、全面地介绍了微电子材料与器件制备技术的前沿问题与进展, 全书主要内容包括微电子材料的分类及性能, 微电子器件中材料的选择, 不同微电子材料与器件的加工工艺及微电子材料的性能测试技术等.

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 王秀峰 |A wang xiu feng |4 编

• 701 _0 |a 伍媛婷 |A wu yuan ting |4 编

• 801 _0 |a CN |b 书尚图书 |c 20080519

• 905 __ |a JHUL |d TN4/158