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• 099 __ |a CAL 012015038951

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• 200 1_ |a 微米纳米器件设计 |A wei mi na mi qi jian she ji |d = Design of micro/nano devices |f 黄庆安, 周再发, 宋竞著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2014

• 215 __ |a xix, 358页, [16] 页图版 |c 图 (部分彩图) |d 24cm

• 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |A wei mi na mi ji shu cong shu |i MEMS与微系统系列

• 300 __ |a 国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要介绍MEMS器件、系统和工艺的模型、模拟以及设计方法。内容包括：MEMS设计框架、MEMS器件级模型与模拟、MEMS器件宏模型与系统级设计、MEMS工艺级模型与模拟和MEMS设计基础。

• 410 _0 |1 2001 |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列

• 510 1_ |a Design of micro/nano deviceseng |z eng

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 微电子技术 |x 电子器件

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 黄庆安 |A huang qing an |4 著

• 701 _0 |a 周再发 |A zhou zai fa |4 著

• 701 _0 |a 宋竞 |A song jing |4 著

• 801 _0 |a CN |b WUL |c 20150409

• 905 __ |a JHUD |d TN4/180

• 920 __ |a 242450 |z 1

• 998 __ |a WUL