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• 000 01558nam 2200349 450

• 001 0000779963

• 005 20150907134500.0

• 010 __ |a 978-7-03-043646-7 |d CNY34.00

• 099 __ |a CAL 012015056642

• 100 __ |a 20150409d2015 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 半导体工艺与测试实验 |A ban dao ti gong yi yu ce shi shi yan |f 谢德英 ... [等] 编

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2015

• 215 __ |a 182页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国家级物理实验教学示范中心系列教材 |A guo jia ji wu li shi yan jiao xue shi fan zhong xin xi lie jiao cai |i 中山大学物理学实验系列教程

• 304 __ |a 题名页题: 谢德英, 陈晖, 黄展云, 陈军编

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书介绍了与微电子技术有关的半导体工艺和测试方面的实验，包括半导体制备工艺的主要六个单项工艺实验，半导体材料与器件的常规测试实验，半导体工艺和器件特性仿真实验，以及衔接以上各单项实验综合器件设计、工艺制造、特性表征与检测的课题实验。

• 333 __ |a 本书可作为高等院校微电子学、电子科学与技术、光电等专业本科生相关实验课程的教材，也可作为从事微电子科学、电子器件、集成电路等工程研究和应用相关人员的实验技术参考书。

• 410 _0 |1 2001 |a 国家级物理实验教学示范中心系列教材 |i 中山大学物理学实验系列教程

• 606 0_ |a 半导体工艺 |A ban dao ti gong yi |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN305-43 |v 5

• 701 _0 |a 谢德英 |A xie de ying |4 编

• 701 _0 |a 陈晖 |A chen hui |4 编

• 701 _0 |a 黄展云 |A huang zhan yun |4 编

• 801 _0 |a CN |b 北京新华书店首都发行所有限公司 |c 20150416

• 905 __ |a JHUD |d TN305/19

• 920 __ |a 242450 |z 1

• 998 __ |a BUA