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• 200 1_ |a 纳米压印技术 |A na mi ya yin ji shu |f 孙洪文著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2011.1

• 215 __ |a xi, 190页 |c 图 |d 23cm

• 320 __ |a 有书目 (第174-190页)

• 330 __ |a 本书详细介绍了纳米压印及相关技术的工艺、原理、仿真、应用和展望。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法, 它可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构, 而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。

• 333 __ |a 本书不仅可以供从事微电子、微纳加工、纳米技术的科技人员参考, 也可供化学、生物、医学、光电子和磁学等领域的科研人员借鉴

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 应用 |x 微电子技术

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 孙洪文 |A sun hong wen |4 著

• 801 __ |a CN |b 三新书业 |c 20101221