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• 005 20080910143800.0

• 010 __ |a 978-7-03-020278-9 |d CNY42.00

• 099 __ |a CAL 012007151953

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 超大规模集成电路 |A chao da gui mo ji cheng dian lu |e 基础·设计·制造工艺 |f (日) 岩田穆, 角南英夫著 |g 彭军译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2008

• 215 __ |a 309页 |c 图 |d 24cm

• 305 __ |a 据2006年日文版译出

• 320 __ |a 有书目 (第300-309页)

• 330 __ |a 本书共分两篇：第一篇为基础设计篇，主要介绍VLSI的特征及作用、VLSI的设计、逻辑电路、逻辑VLSI、半导体存储器、模拟VLSI、VLSI的设计法与构成法、VLSI的实验等；第二篇为制造工艺篇，主要介绍集成工艺、平板印刷、刻蚀、氧化、不纯物导入、绝缘膜堆积、电极与配线等。

• 606 0_ |a 超大规模集成电路 |A chao da gui mo ji cheng dian lu

• 690 __ |a TN47 |v 4

• 701 _0 |a 岩田穆 |A yan tian mu |4 著

• 701 _0 |a 角南英夫 |A jiao nan ying fu |4 著

• 702 _0 |a 彭军 |A peng jun |4 译

• 801 _0 |a CN |b BUPT |c 20071129

• 905 __ |a JHUL |d TN47/1001