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• 200 1_ |a 微电子工艺基础 |A Wei Dian Zi Gong Yi Ji Chu |f 李薇薇, 王胜利, 刘玉岭编著

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2007

• 215 __ |a 257页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共分10部分，主要内容包括硅材料及硅化合物化学性质，微电子技术中的高纯水制备，微电子技术中的化学清洗，氧化工艺技术，扩散工艺技术，刻蚀工艺技术等部分。

• 333 __ |a 高等院校相关师生，及教师和研究生

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 生产工艺

• 690 __ |a TN405 |v 4

• 701 _0 |a 李薇薇 |A Li Wei Wei |4 编著

• 701 _0 |a 王胜利 |A Wang Sheng Li |4 编著

• 701 _0 |a 刘玉岭 |A Liu Yu Ling |4 编著

• 801 _0 |a CN |b JG |c 20070118

• 905 __ |a JHUL |d TN405/6