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• 101 1_ |a chi |c eng

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• 200 1_ |a 微电子制造科学原理与工程技术 |A wei dian zi zhi zao ke xue yuan li yu gong cheng ji shu |d = The science and engineering of microelectronic fabrication |f (美) Stephen A. Campbell著 |g 曾莹 ... 等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2003

• 215 __ |a 613页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列 |A guo wai dian zi yu tong xin jiao cai xi lie

• 305 __ |a 据美国Oxford University Press公司2001年英文版第2版译出。

• 306 __ |a 由美国Oxford University Press公司授权电子工业出版社出版。

• 314 __ |a 责任者规范汉译姓: 坎贝尔

• 320 __ |a 有书目

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列

• 510 1_ |a Science and engineering of microelectronic fabrication |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |j 教材

• 690 __ |a TN405 |v 4

• 701 _1 |a 坎贝尔, |A kan bei er |b S. A. |g (Campbell, Stephen A.) |4 著

• 702 _0 |a 曾莹 |A zeng ying |4 译

• 801 _0 |a CN |b BUPT |c 20030123

• 801 _2 |a CN |b JHUL |c 20030630

• 905 __ |a JHUL |d TN405/2

• 920 __ |a 211130 |z 1

• 998 __ |a BUPT