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• 200 1_ |a 半导体工艺 |f (美)K.A.杰克逊(Kenneth A.Jackson)主编 |g 屠海令等译校 |A ban dao ti gong yi

• 210 __ |a 北京 |b 北京 |c 科学出版社 |d 1999

• 215 __ |a 627页 |d 26cm

• 225 2_ |a 材料科学与技术丛书 |d Materials science and technology |z eng |v 16

• 410 _0 |1 2001 |a 材料科学与技术丛书

• 510 1_ |a Processing of semiconductors |z eng

• 606 __ |a 半导体工艺 |x 研究

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• 701 _1 |a 杰克逊 |b K.A. |4 主编 |A jie ke xun

• 701 A1 |a Jackson |b Kenneth A. |4 主编

• 702 _0 |a 屠海令 |4 译校

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