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• 200 1_ |a 微电子制造技术概论 |A Wei Dian Zi Zhi Zao Ji Shu Gai Lun |f 严利人, 周卫, 刘道广编著

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2010

• 215 __ |a 164页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 微电子与集成电路技术丛书 |A Wei Dian Zi Yu Ji Cheng Dian Lu Ji Shu Cong Shu

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书介绍集成电路制造技术，涉及制造流程和各具体的单项工艺技术。内容包括：概论、各单项工艺技术、直接与流程实施相联系的集成电路制造作业调度技术等。

• 410 _0 |1 2001 |a 微电子与集成电路技术丛书

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 概论

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 严利人 |A Yan Li Ren |4 编著

• 701 _0 |a 周卫 |A Zhou Wei |4 编著

• 701 _0 |a 刘道广 |A Liu Dao Guang |4 编著

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20100329

• 905 __ |a JHUD |d TN4/166

• 920 __ |a 242450 |z 1