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- 200 1_ |a 微机械光子学 |d = Micromechanical Photonics |f (日)浮田编著
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2007
- 215 __ |a 250页 |c 图 |d 26cm
- 333 __ |a 光学MEMS是MEMS中的热门领域,也是MEMS的重要发展方向之一,本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学。书中阐述了此领域的理论及实验结果,并且介绍了多种器件及其应用,内容涉及激光二极管、共振传感器、光镊子等多种器件,最后,对微机械光子学的未来发展做了展望
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- 606 0_ |a 微电机 |x 光子 |x 英文
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