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• 200 1_ |a 微机电系统 |A Wei Ji Dian Xi Tong |f 梅涛, 伍小平主编

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2003

• 215 __ |a 197页 |c 图 |d 20cm

• 225 2_ |a 高新技术科普丛书 |A gao xin ji shu ke pu cong shu

• 300 __ |a 国家科普知识重点图书

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共分7章，分别介绍了微机械加工技术、微机电系统的力学问题、微传感器、微执行器等。

• 330 __ |a 本书共分７章。分别介绍了微机械加工技术、微机电系统的力学问题、微传感器、微执行器、真空微电子器件及典型微系统与应用，并列举了大量应用实例，使读者对微机电系统知识有了进一步的认识。

• 410 _0 |1 2001 |a 高新技术科普丛书

• 606 0_ |a 机电系统 |A ji dian xi tong |j 普及读物

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |j 普及读物

• 690 __ |a TM38-39 |v 4

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 梅涛 |A Mei Tao |4 主编

• 701 _0 |a 伍小平 |A Wu Xiao Ping |4 主编

• 801 _0 |a CN |b 北京万源信海 |c 20030120

• 801 _2 |a CN |b JHUL |c 20041220

• 905 __ |a JHUL |d TM38/9

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