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• 200 1_ |a 微机电系统 (MEMS) 制造技术 |A Wei Ji Dian Xi Tong (mems) Zhi Zao Ji Shu |f 苑伟政, 乔大勇著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2014

• 215 __ |a 240页 |c 图 |d 25cm

• 225 2_ |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书 |A Wei Na Zhi Zao De Ji Chu Yan Jiu Xue Shu Zhu Zuo Cong Shu

• 312 __ |a 并列题名取自封面

• 320 __ |a 有书目和索引

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书

• 510 1_ |a Micro nano manufacturing |z eng

• 606 0_ |a 微机电 |A Wei Ji Dian |x 生产工艺

• 690 __ |a TM380.5 |v 5

• 701 _0 |a 苑伟政 |A Yuan Wei Zheng |4 著

• 701 _0 |a 乔大勇 |A Qiao Da Yong |4 著

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20140506

• 905 __ |a JHUD |d TM380.5/1

• 920 __ |a 242450 |z 1

• 998 __ |a NMU