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• 200 1_ |a 集成电路产业关键技术专利分析报告 |A Ji Cheng Dian Lu Chan Ye Guan Jian Ji Shu Zhuan Li Fen Xi Bao Gao |d = Technology insight report integrated circuit industry |f 集成电路产业关键技术分析研究组编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2018

• 215 __ |a 207页 |c 彩图 |d 27cm

• 300 __ |a 国家科技图书文献中心“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项信息服务项目资助

• 330 __ |a 为了有效保障我国科学技术事业的发展，为国家科技重大专项提供学科情报服务支撑，中国科学院国家科学图书馆(简称国科图)，按照国家科技图书文献中心(NSTL)服务国家重大科技专项的总体战略，组建了面向重大专项的学科情报服务团队，以承担“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”(简称02专项)国家重大科技专项任务较为集中的中国科学院微电子研究所(以下简称“微电子所”)作为学科情报服务对象，通过专项研发领域概况调研和专项科研团队情报服务需求调研，缜密策划了嵌入重大专项关键技术研发过程的学科情报服务，提供了专项研发关注的专利技术分析报告等系列情报产品，得到了专项科研团队的充分认可和满意评价。

• 510 1_ |a Technology insight report integrated circuit industry |z eng

• 606 0_ |a 集成电路产业 |A Ji Cheng Dian Lu Chan Ye |x 专利技术 |x 研究报告 |y 中国

• 690 __ |a F426.63-18 |v 5

• 711 02 |a 集成电路产业关键技术分析研究组 |A Ji Cheng Dian Lu Chan Ye Guan Jian Ji Shu Fen Xi Yan Jiu Zu |4 编著

• 801 _0 |a CN |b DUTL |c 20190321

• 905 __ |a JHUD |d F426.63/47

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