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• 200 1_ |a 微电子机械系统 |A Wei Dian Zi Ji Xie Xi Tong |f 姜岩峰编著

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社工业装备与信息工程出版中心 |d 2006

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• 701 _0 |a 姜岩峰 |A Jiang Yan Feng |4 编著

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