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• 010 __ |a 7-5603-1694-8 |d CNY18.00

• 099 __ |a CAL 012002187685

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• 200 1_ |a MEMS技术及其应用 |A MEMS ji shu ji qi yingyong |f 李德胜 ... [等] 编著

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工业大学出版社 |d 2002

• 215 __ |a 301页 |c 图 |d 21cm

• 300 __ |a 国家自然科学基金资助课题 哈尔滨工业大学研究成果专著基金资助出版

• 304 __ |a 本书编著李德胜、王东红、孙金玮、金鹏。

• 320 __ |a 有书目 (第298-301页)

• 330 __ |a 本书共分八章，在概述微机电技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。具体内容有: 绪论, MEMS基础理论、微机械制造技术、MEMSCAAD辅助分析设计, 微传感器、微操作器、微机电系统、生物芯片。

• 532 10 |a Micro electro mecjanical systems技术及其应用 |A Micro electro mecjanical systems ji hu ji qi ying yong

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 李德胜 |A li de sheng |4 编著

• 701 _0 |a 王东红 |A wang dong hong |4 编著

• 701 _0 |a 孙金玮 |A sun jin wei |4 编著

• 701 _0 |a 金鹏 |A Jin Peng |4 编著

• 801 _0 |a CN |b WUL |c 20020925

• 801 _2 |a CN |b JHUL |c 20040831

• 905 __ |a JHUL |d TM38/10