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• 200 1_ |a 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 |A Yong Yu E Lie Huan Jing De Tan Hua Gui Wei Ji Dian Xi Tong |f Rebecca Cheung著 |g 王晓浩, 唐飞, 王文弢译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2010

• 215 __ |a 121页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳技术著作丛书 |A Wei Na Ji Shu Zhu Zuo Cong Shu

• 314 __ |a CIP题责任者汉译姓：张

• 320 __ |a 有书目。

• 330 __ |a 本书系统论述碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳技术著作丛书

• 606 0_ |a 半导体材料 |A Ban Dao Ti Cai Liao |x 微电子技术 |x 研究

• 690 __ |a TN304 |v 4

• 701 _0 |a 张 |A Zhang |g (Cheung, Rebecca) |4 著

• 702 _0 |a 王晓浩 |A Wang Xiao Hao |4 译

• 702 _0 |a 唐飞 |A Tang Fei |4 译

• 702 _0 |a 王文弢 |A Wang Wen Tao |4 译

• 801 _0 |a CN |b DUTL |c 20100428

• 905 __ |a JHUD |d TN304/21

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