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- 010 __ |a 978-7-03-075192-8 |d CNY88.00
- 100 __ |a 20230407d2023 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 微电子工艺与装备技术 |A wei dian zi gong yi yu zhuang bei ji shu |f 夏洋, 解婧, 陈宝钦编著
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2023.3
- 215 __ |a x, 227页 |c 图 |d 26cm
- 225 2_ |a 中国科学院大学研究生教材系列 |A zhong guo ke xue yuan da xue yan jiu sheng jiao cai xi lie
- 314 __ |a 夏洋, 男, 博士生导师, 毕业于北京大学、北京科技大学, 目前担任中国科学院微电子研究所研究员、中国科学院大学岗位教授。解婧, 女, 硕士生导师, 毕业于清华大学、中国科学院半导体研究所, 目前担任中国科学院微电子研究所副研究员。陈宝钦, 男, 博士生导师, 毕业于北京大学, 曾在中国科学院微电子研究所担任研究员, 目前担任中国科学院大学岗位教授。
- 320 __ |a 有书目 (第221-227页)
- 330 __ |a 本书重点介绍半导体集成电路制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。本书力求让学生在了解集成电路制作基本原理与方法的基础上, 紧密地联系生产实际, 方便地理解这些原本复杂的工艺和流程, 从而系统掌握半导体集成电路制造技术。在此基础上, 结合相关课程培养学生掌握集成电路相关专业所必需的基础知识、基本理论和基本实验技能, 有助于学生理解这些原本复杂的工艺和流程, 为集成电路及半导体工艺技术培养专业的工程性人才打下坚实基础。本书针对非电子信息专业以及无实践经验学生的特点和学习要求, 注重由浅入深, 理论联系实际, 突出应用和基本技能的训练, 教学仪器及实验室耗材等全部操作均采用案例教学的方式。
- 333 __ |a 本书可作为集成电路科学与工程、电子科学与技术学科的研究生教材, 也可供相关工程技术人员参考使用
- 410 _0 |1 2001 |a 中国科学院大学研究生教材系列
- 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 研究生 |j 教材
- 701 _0 |a 夏洋 |A xia yang |4 编著
- 701 _0 |a 解婧 |A xie jing |4 编著
- 701 _0 |a 陈宝钦 |A chen bao qin |4 编著
- 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20230407