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• 010 __ |a 978-7-121-26083-4 |d CNY79.00

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• 200 1_ |a 半导体制造技术 |A Ban Dao Ti Zhi Zao Ji Shu |d = Semiconductor manufacturing technology |f (美) Michael Quirk，Julian Serda著 |g 韩郑生等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2015

• 215 __ |a 14, 600页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列 |A Guo Wai Dian Zi Yu Tong Xin Jiao Cai Xi Lie

• 306 __ |a 由Pearson Education授予出版

• 314 __ |a 责任者Quirk规范汉译姓: 夸克; 责任者Serda规范汉译姓: 瑟达

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了各种新技术资料，学术界和工业界对本书的评价都很高。全书共分20章，根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节，包括与半导体制造相关的基础技术信息；总体流程图的工艺模型概况，用流程图将硅片制造的主要领域连接起来；具体讲解每一个主要工艺；集成电路装配和封装的后部工艺概况。此外，各章为读者提供了关于质量测量和故障排除的问题，这些都是会在硅片制造中遇到的实际问题。

• 333 __ |a 本书适合作为高等院校微电子技术专业的教材, 也可作为从事半导体制造与研宄人员的参考书及公司培 训员工的标推教材

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列

• 500 10 |a Semiconductor manufacturing technology |A Semiconductor Manufacturing Technology |m Chinese

• 606 0_ |a 半导体工艺 |A Ban Dao Ti Gong Yi |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN305 |v 5

• 701 _1 |a 夸克 |A Kua Ke |g (Quirk, Michael), |f 1953- |4 著

• 701 _1 |a 瑟达 |A Se Da |g (Serda, Julian) |4 著

• 702 _0 |a 韩郑生 |A Han Zheng Sheng |4 译

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20150722

• 801 _2 |a CN |b PUL |c 20151026

• 905 __ |a JHUD |d TN305/20

• 920 __ |a 242450 |z 1

• 998 __ |a NMU