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西文图书1.微纳尺度制造工程 / 第三版. TN405/C187
馆藏复本:3
可借复本:3 Campbell, Stephen A.,
Publishing House of Electronics Industry, 2010.
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西文图书2.The science and engineering of microelectronic fabrication = 微电子制造科学原理与工程技术 / 2nd ed. TN405/C191=2
馆藏复本:3
可借复本:3 Campbell, Stephen A.,
Publishing House of Electronics Industry, 2003.
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中文图书3.微电子制造科学原理与工程技术 TN405/2
馆藏复本:4
可借复本:4 (美) Stephen A. Campbell著
电子工业出版社 2003
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