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中文图书1.微电子制造技术概论 TN4/166
馆藏复本：3
可借复本：2 严利人, 周卫, 刘道广编著
清华大学出版社 2010
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中文图书2.微电子学概论.第2版 TN4/132
馆藏复本：3
可借复本：3 张兴, 黄如, 刘晓彦编著
北京大学出版社 2005
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