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中文图书1.微电子机械系统 TN4/139
馆藏复本:3
可借复本:2 姜岩峰编著
化学工业出版社工业装备与信息工程出版中心 2006
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中文图书2.MEMS和微系统:设计与制造:design and manufacture TH-39/83
馆藏复本:8
可借复本:2 (美) 徐泰然著
机械工业出版社 2004
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中文图书3.微机械与微细加工技术 TH111/71
馆藏复本:7
可借复本:2 苑伟政,马炳和编著
西北工业大学出版社 2000
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