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- 题名/责任者:
- 软X射线与极紫外辐射的原理和应用/(美) D. 阿特伍德著 张杰等译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-03-010813-2/CNY59.00
- 载体形态项:
- xiii, 458页, [1] 叶图版:图;24cm
- 并列正题名:
- Soft X-rays and extreme ultraviolet radiation:principles and applications
- 个人责任者:
- 阿特伍德, D. (Attwood, David) 著
- 个人次要责任者:
- 张杰 译
- 学科主题:
- X射线-研究
- 学科主题:
- 紫外辐射-研究
- 中图法分类号:
- O434
- 相关题名附注:
- 英文并列题名取自版权页
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 主要介绍软X射线与极紫外(EUV)辐射的基本特性, 讨论它们在多个领域的广泛应用, 包括用于半导体芯片制备的极紫外光刻和生物样品的软X射线显微。
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