MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：16
- 题名/责任者:
- 微机电系统与设计/娄利飞编著
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-121-10808-2/CNY28.00
- 载体形态项:
- 204页:图;26cm
- 丛编项:
- 电子信息与电气学科规划教材.电子科学与技术类
- 个人责任者:
- 娄利飞 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN4-43
- 书目附注:
- 有书目 (第203-204页)
- 提要文摘附注:
- 本书共分8个章节，内容包括微机电系统概论、微机电系统的工作原理、微机电系统的相关制造技术、微机电系统设计中的工程力学和尺度效应等。
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