MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：57
- 题名/责任者:
- 集成电路制造技术/张亚非, 段力编著
- 出版发行项:
- 上海:上海交通大学出版社,2018
- ISBN及定价:
- 978-7-313-18651-5/CNY88.00
- 载体形态项:
- 439页:图;26cm
- 丛编项:
- 前沿电子信息专业教材系列
- 个人责任者:
- 张亚非 编著
- 个人责任者:
- 段力 编著
- 学科主题:
- 集成电路工艺-教材
- 中图法分类号:
- TN405
- 责任者附注:
- 张亚非，上海交通大学微纳米科学技术研究院教授。
- 责任者附注:
- 段力，上海交通大学微纳米学院电子学系副教授。研究方向：微纳米科技在航空技术领域的交又应用，航空发动机传感器预研。
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要讲述集成电路与微纳制造工艺技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况的介绍。本书把集成电路的工艺技术分类为图形化（光刻）、加法（薄膜的技术）、减法（刻蚀技术）、乘除法（离子注入、silicide）及其集成电路工程学（良率、可靠性）和集成电路后勤工作（超净问、IC衍生产业链）几大类，便于学生掌握、记忆和类推。
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