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MARC状态:审校  文献类型:中文图书 浏览次数:30 

题名/责任者:
基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用/张玉宝, 李强主编
出版发行项:
北京:冶金工业出版社,2007
ISBN及定价:
978-7-5024-4276-7/CNY32.00
载体形态项:
198页:图;26cm
个人责任者:
张玉宝 主编
个人责任者:
李强 主编
学科主题:
微电机-计算机辅助设计-COMSOL Multiphysics
中图法分类号:
TM380.2-39
中图法分类号:
TM380.2
书目附注:
有书目 (第198页)
提要文摘附注:
本书介绍了应用COMSOL Multiphysies有限元软件建立MEMS模型的基本方法和过程,并辅以典型MEMS建模实例。
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