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- 题名/责任者:
- 半导体材料/张源涛, 杨树人, 徐颖编著
- 版本说明:
- 第4版
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2023.3
- ISBN及定价:
- 978-7-03-075191-1/CNY59.00
- 载体形态项:
- 257页:图;26cm
- 个人责任者:
- 张源涛 编著
- 个人责任者:
- 杨树人 编著
- 个人责任者:
- 徐颖 编著
- 学科主题:
- 半导体材料-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN304
- 书目附注:
- 有书目 (第256-257页)
- 提要文摘附注:
- 本书共13章: 第1章为硅和锗的化学制备; 第2章为区熔提纯; 第3章为晶体生长; 第4章为硅、锗晶体中的杂质和缺陷; 第5章为硅外延生长; 第6章为Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体; 第7章为Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的外延生长; 第8章为Ⅲ-Ⅴ族多元化合物半导体; 第9章为Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体; 第10章为低维结构半导体材料; 第11章为氧化物半导体材料; 第12章为宽禁带半导体材料; 第13章为其他半导体材料。
- 使用对象附注:
- 本书可作为电子科学与技术、微电子科学与工程、集成电路设计与集成系统等专业本科生的教材, 也可作为相关专业研究生和从事半导体相关研究工作的科研人员的参考书
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