MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：42
- 题名/责任者:
- CMOS MEMS技术与应用/(美) O. Brand, G.K. Fedder著 黄庆安, 秦明译
- 出版发行项:
- 南京:东南大学出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-5641-0784-0/CNY78.00
- 载体形态项:
- 500页:图;24cm
- 统一题名:
- CMOS-MEMS
- 丛编项:
- 微纳系统系列译丛
- 个人责任者:
- 布兰德 (Brand, Oliver), 1964- 著
- 个人责任者:
- 费德 (Fedder, Gary K.) 著
- 个人次要责任者:
- 黄庆安 译
- 个人次要责任者:
- 秦明 译
- 学科主题:
- MOS电路-微电机-电路设计
- 中图法分类号:
- TN432
- 版本附注:
- 据Wiley-VCH 2005年英文版译出
- 相关题名附注:
- 责任者规范汉译姓: 布兰德, 费德
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍了制造工艺、材料表征、单片集成惯性传感器、CMOS MEMS声学器件、CMOS RF MEMS、CMOS压力传感器、CMOS化学传感器等。
- 使用对象附注:
- 适合微电子技术、微机电系统技术等相关领域的高年级本科生
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