MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：40
- 题名/责任者:
- MEMS可靠性/(日) O. Tabata, T. Tsuchiya著 宋竞 ... [等] 译
- 出版发行项:
- 南京:东南大学出版社,2009
- ISBN及定价:
- 978-7-5641-1575-3/CNY50.00
- 载体形态项:
- 247页:图;24cm
- 统一题名:
- Reliability of MEMS
- 丛编项:
- 微纳系统系列译丛
- 个人责任者:
- 田畑修 (Tabata, O.) 著
- 个人责任者:
- 土屋智由 (Tsuchiya, T.) 著
- 个人次要责任者:
- 宋竞 译
- 个人次要责任者:
- 尚金堂 译
- 个人次要责任者:
- 唐洁影 译
- 学科主题:
- 微机电-可靠性
- 中图法分类号:
- TM38
- 题名责任附注:
- 题名页题: 宋竞, 尚金堂, 唐洁影, 黄庆安译
- 出版发行附注:
- 本书中文简体字翻译版由WILEY-VCH授权东南大学出版社独家出版发行
- 责任者附注:
- 责任者O. Tabata规范汉译名: 田畑修; 责任者T. Tsuchiya规范汉译名: 土屋智由
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法, 包括MEMS材料的可靠性, 微纳压痕仪等; 第二部分论述MEMS器件的可靠性。
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