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MARC状态:审校  文献类型:中文图书 浏览次数:47 

题名/责任者:
CMOS MEMS技术与应用/(美) O. Brand, G.K. Fedder著 黄庆安, 秦明译
出版发行项:
南京:东南大学出版社,2007
ISBN及定价:
978-7-5641-0784-0/CNY78.00
载体形态项:
500页:图;24cm
统一题名:
CMOS-MEMS
丛编项:
微纳系统系列译丛
个人责任者:
布兰德 (Brand, Oliver), 1964- 著
个人责任者:
费德 (Fedder, Gary K.)
个人次要责任者:
黄庆安
个人次要责任者:
秦明
学科主题:
MOS电路-微电机-电路设计
中图法分类号:
TN432
版本附注:
据Wiley-VCH 2005年英文版译出
相关题名附注:
责任者规范汉译姓: 布兰德, 费德
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书主要介绍了制造工艺、材料表征、单片集成惯性传感器、CMOS MEMS声学器件、CMOS RF MEMS、CMOS压力传感器、CMOS化学传感器等。
使用对象附注:
适合微电子技术、微机电系统技术等相关领域的高年级本科生
全部MARC细节信息>>
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