MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：34
- 题名/责任者:
- 半导体工艺与测试实验/谢德英 ... [等] 编
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-03-043646-7/CNY34.00
- 载体形态项:
- 182页:图;26cm
- 丛编项:
- 国家级物理实验教学示范中心系列教材.中山大学物理学实验系列教程
- 个人责任者:
- 谢德英 编
- 个人责任者:
- 陈晖 编
- 个人责任者:
- 黄展云 编
- 学科主题:
- 半导体工艺-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN305-43
- 题名责任附注:
- 题名页题: 谢德英, 陈晖, 黄展云, 陈军编
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了与微电子技术有关的半导体工艺和测试方面的实验，包括半导体制备工艺的主要六个单项工艺实验，半导体材料与器件的常规测试实验，半导体工艺和器件特性仿真实验，以及衔接以上各单项实验综合器件设计、工艺制造、特性表征与检测的课题实验。
- 使用对象附注:
- 本书可作为高等院校微电子学、电子科学与技术、光电等专业本科生相关实验课程的教材，也可作为从事微电子科学、电子器件、集成电路等工程研究和应用相关人员的实验技术参考书。
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