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MARC状态:审校  文献类型:中文图书 浏览次数:16 

题名/责任者:
半导体器件制造工艺/廷仲主编
出版发行项:
天津:天津科学技术出版社,1982.11
ISBN及定价:
/ 1.22
载体形态项:
226页;16开
编目员补充题名:
BDTQJZZGY
个人责任者:
廷仲 主编
学科主题:
半导体技术
非控制主题词:
半导体 导体 器件 制造 工艺
中图法分类号:
TN305
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