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MARC状态:审校  文献类型:中文图书 浏览次数:28 

题名/责任者:
半导体工艺与测试实验/谢德英 ... [等] 编
出版发行项:
北京:科学出版社,2015
ISBN及定价:
978-7-03-043646-7/CNY34.00
载体形态项:
182页:图;26cm
丛编项:
国家级物理实验教学示范中心系列教材.中山大学物理学实验系列教程
个人责任者:
谢德英
个人责任者:
陈晖
个人责任者:
黄展云
学科主题:
半导体工艺-高等学校-教材
中图法分类号:
TN305-43
题名责任附注:
题名页题: 谢德英, 陈晖, 黄展云, 陈军编
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书介绍了与微电子技术有关的半导体工艺和测试方面的实验,包括半导体制备工艺的主要六个单项工艺实验,半导体材料与器件的常规测试实验,半导体工艺和器件特性仿真实验,以及衔接以上各单项实验综合器件设计、工艺制造、特性表征与检测的课题实验。
使用对象附注:
本书可作为高等院校微电子学、电子科学与技术、光电等专业本科生相关实验课程的教材,也可作为从事微电子科学、电子器件、集成电路等工程研究和应用相关人员的实验技术参考书。
全部MARC细节信息>>
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