MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:21
- 题名/责任者:
- 微机电系统技术基础/石庚辰,郝一龙编
- 出版发行项:
- 北京:中国电力出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-5083-4384-0/CNY27.00
- 载体形态项:
- 268页;24cm
- 个人责任者:
- 石庚辰 编
- 个人责任者:
- 郝一龙 编
- 学科主题:
- 微电机-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TM38
- 中图法分类号:
- TH-39
- 一般附注:
- 北京市高等教育精品教材立项项目
- 书目附注:
- 有书目 (第266-268页)
- 提要文摘附注:
- 本书系统地介绍了有关微机电系统的知识,主要内容包括微机电系统的基本概念、微机电系统所用材料、微机电系统的加工技术、微机电系统的设计技术、微机电系统的组成、检测以及应用技术。内容详实,图文并茂。
- 使用对象附注:
- 本书可供机械电子工程等有关专业的本科生和研究生作为教材使用,也可供相关领域的工程技术人员以及有关科技管理部门的人员参考使用
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