MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：24
- 题名/责任者:
- 真空镀膜技术与应用/陆峰编著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2022.03
- ISBN及定价:
- 978-7-122-40245-5/CNY138.00
- 载体形态项:
- 335页:图;26cm
- 个人责任者:
- 陆峰 编著
- 学科主题:
- 真空技术-镀膜
- 中图法分类号:
- TN305.8
- 提要文摘附注:
- 本书阐述了真空镀膜技术的基本理论知识体系以及各种真空镀膜方法、设备及工艺。对最新的薄膜类型、性能检测及评价、真空镀膜技术及装备等内容也进行了介绍，如金刚石薄膜的应用及大面积制备技术、工艺、性能评价等。
- 使用对象附注:
- 本书适用于从事真空镀膜技术、薄膜与表面工程、材料工程等领域相关研究、设计、设备操作及维护工作的技术人员，与真空镀膜技术有关的研究人员和真空专业的本科生、研究生
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