MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：42
- 题名/责任者:
- 半导体集成电路制造技术/张亚非等编著
- 出版发行项:
- 北京:高等教育出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-04-018299-8/CNY48.00
- 载体形态项:
- iv, 390页:图;24cm
- 丛编项:
- 长江学者论丛
- 个人责任者:
- 张亚非 编著
- 学科主题:
- 半导体集成电路-集成电路工艺-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN430.5
- 出版发行附注:
- “长江学者”学术著作出版资助项目
- 书目附注:
- 有书目
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