MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：20
- 题名/责任者:
- 微电子材料与器件制备技术/王秀峰, 伍媛婷编
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2008
- ISBN及定价:
- 978-7-122-02445-9/CNY39.00
- 载体形态项:
- 225页:图;26cm
- 个人责任者:
- 王秀峰 编
- 个人责任者:
- 伍媛婷 编
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 书目附注:
- 有书目 (第224-225页)
- 提要文摘附注:
- 本书以微电子材料为对象, 以材料和器件的制备工艺为主线, 系统、全面地介绍了微电子材料与器件制备技术的前沿问题与进展, 全书主要内容包括微电子材料的分类及性能, 微电子器件中材料的选择, 不同微电子材料与器件的加工工艺及微电子材料的性能测试技术等.
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