MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：75
- 题名/责任者:
- 微机电系统基础/(美) Chang Liu著 黄庆安译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-111-22333-7/CNY49.00
- 载体形态项:
- xi, 365页:图;26cm
- 统一题名:
- Foundations of mems
- 丛编项:
- 电子与电气工程丛书
- 个人责任者:
- 刘昶 (Liu, Chang) 著
- 个人次要责任者:
- 黄庆安 译
- 学科主题:
- 微电机-教材
- 中图法分类号:
- TM38
- 版本附注:
- 据原书2006年版译出
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍了微制造导论、电学与机械学基本概念、静电敏感与执行原理、热敏感与执行原理、敏感与执行原理总结等。
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