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MARC状态:订购  文献类型:中文图书 浏览次数:13 

题名/责任者:
微机械电子系统及其应用/刘广玉 樊尚春
版本说明:
第一版
出版发行项:
北京:北京航空航天大学出版社,200302
ISBN及定价:
7-81077-183-3/CNY16.00
载体形态项:
192页:含图,附表;16开
个人责任者:
刘广玉 编著
学科主题:
微型-机电系统
中图法分类号:
TP271
提要文摘附注:
可供检测与控制等微工程领域专业技术人员
提要文摘附注:
本书综合当前公开发表的大量有关微机电系统(MEMS)的科技文献和我们近几年研究工作的成果,主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展。
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