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MARC状态:审校  文献类型:中文图书 浏览次数:27 

题名/责任者:
集成电路 (IC) 制程简论/田民波编著
出版发行项:
北京:清华大学出版社,2009
ISBN及定价:
978-7-302-20959-1/CNY33.00
载体形态项:
244页:图;23cm
并列正题名:
Brief introduction to IC process
丛编项:
新材料及在高技术中的应用丛书
个人责任者:
田民波 编著
学科主题:
集成电路
中图法分类号:
TN4
相关题名附注:
英文题名取自封面
书目附注:
有书目 (第243-244页)
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