MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：18
- 题名/责任者:
- 纳米加工技术与原理/(加拿大) Maria Stepanova, Steven Dew编 段辉高 ... [等] 译
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2021
- ISBN及定价:
- 978-7-118-12322-7 精装/CNY119.00
- 载体形态项:
- XII, 318页, 10页图版:图 (部分彩图);25cm
- 个人责任者:
- 斯捷潘诺娃 (Stepanova, Maria) 编
- 个人责任者:
- 德夫 (Dew, Steven) 编
- 个人次要责任者:
- 段辉高 译
- 个人次要责任者:
- 陈艺勤 译
- 个人次要责任者:
- 胡跃强 译
- 学科主题:
- 纳米材料-加工
- 中图法分类号:
- TB383
- 一般附注:
- 装备科技译著出版基金
- 题名责任附注:
- 题名页题其余译者: 陈艺勤, 胡跃强, 李平
- 出版发行附注:
- 由Springer授权出版
- 责任者附注:
- 责任者Stepanova规范汉译姓: 斯捷潘诺娃 ; 责任者Dew规范汉译姓: 德夫
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括: 纳米加工研究方向简介、电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及性能等。
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