MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：45
- 题名/责任者:
- 微机电系统设计与制造/刘晓明, 朱钟淦编著
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2005
- ISBN及定价:
- 7-118-04121-1/CNY32.00
- 载体形态项:
- 371页:图;23cm
- 并列正题名:
- MEMS Design and manufacture
- 丛编项:
- 研究生系列规划教材
- 个人责任者:
- 刘晓明 编著
- 个人责任者:
- 朱钟淦 编著
- 学科主题:
- 微电机-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TM38-49
- 中图法分类号:
- TH-39
- 一般附注:
- 电子科技大学研究生系列教材建设项目
- 相关题名附注:
- 英文并列题名取自封面
- 书目附注:
- 有书目 (第369-371页)
- 提要文摘附注:
- 本书概要介绍MEMS的设计与制造，全书共分7章，内容包括：MEMS的概论，MEMS的设计，集成电路 (IC) 基本制造技术，MEMS的制造技术，微传感器，微执行器以及MEMS的应用及检测技术。
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