MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：28
- 题名/责任者:
- 微纳米测量技术/王伯雄, 陈非凡, 董瑛编著
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-302-13063-9/CNY24.00
- 载体形态项:
- 223页:图;23cm
- 丛编项:
- 清华大学微机电系统工程系列教材
- 个人责任者:
- 王伯雄 编著
- 个人责任者:
- 陈非凡 编著
- 个人责任者:
- 董瑛 编著
- 学科主题:
- 纳米材料-测量技术-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TB383-43
- 中图法分类号:
- P2-43
- 书目附注:
- 有书目 (第221-223页)
- 提要文摘附注:
- 全书共4章,内容包括:微纳米测量技术的意义、特点和研究的内容;微型传感器的工作原理及其典型应用;微南米测量技术中的光学方法,光学测量系统的结构及应用;微纳米尺度的几何量、表面粗糙度、表面微观形貌、微位移、振动等典型物理量的测量技术应用。
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