MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：34
- 题名/责任者:
- 半导体材料与器件表征技术/(美) Dieter K. Schroder著 大连理工大学半导体研究室译
- 出版发行项:
- 大连:大连理工大学出版社,2008
- ISBN及定价:
- 978-7-5611-4138-0/CNY99.80
- 载体形态项:
- 20, 542页:图;24cm
- 个人责任者:
- 施罗德 (Schroder, Dieter K.) 著
- 个人次要责任者:
- 刘爱民 译
- 团体次要责任者:
- 大连理工大学 半导体研究室 译
- 学科主题:
- 半导体材料-研究
- 学科主题:
- 半导体器件-研究
- 中图法分类号:
- TN304
- 中图法分类号:
- TN303
- 版本附注:
- 据1998年第2版译出
- 责任者附注:
- 责任者规范汉译姓: 施罗德
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书详细介绍了现代半导体工业中半导体材料和器件的表征技术，基本上覆盖了所有的电学和光学测试方法，以及非常专业的与半导体材料相关的物理和化学测试方法。
- 提要文摘附注:
- 本书专门介绍半导体材料和器件表征技术，主要分为三个部分：电学表征、光学表征和物理表征。本书在国外被广泛选用为研究生专业课教材及工程技术人员的参考书，并在文献中被大量引用。
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