MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：31
- 题名/责任者:
- 半导体制造与过程控制基础/(美) Gary S. May, Costas J. Spanos著 李虹, 肖春虹, 马俊婷译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2009
- ISBN及定价:
- 978-7-111-25665-6/CNY60.00
- 载体形态项:
- XI, 377页:图;24cm
- 丛编项:
- 国际信息工程先进技术译丛
- 个人责任者:
- 梅, (May, Gary S.) 著
- 个人责任者:
- 斯帕诺斯, (Spanos, Coatas J.) 著
- 个人次要责任者:
- 李虹 译
- 个人次要责任者:
- 肖春虹 译
- 个人次要责任者:
- 马俊婷 译
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
- 相关题名附注:
- 英语并列题名取自封面
- 责任者附注:
- 责任者May的规范中译姓 : 梅;责任者Spanos的规范中译姓: 斯帕诺斯
- 书目附注:
- 有书目
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