MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：22
- 题名/责任者:
- 硅微机械传感器/郑志霞著
- 出版发行项:
- 杭州:浙江大学出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-308-10879-9/CNY35.00
- 载体形态项:
- 199页:图;26cm
- 并列正题名:
- Mechanical microsensors
- 个人责任者:
- 郑志霞 著
- 学科主题:
- 传感器
- 中图法分类号:
- TP212.12
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书围绕硅微机械传感器的基本原理、工艺技术、应用领域及接口电路等几个方面展示了介绍和讨论。
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