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MARC状态:审校  文献类型:中文图书 浏览次数:21 

题名/责任者:
半导体材料测试与分析/杨德仁等著
出版发行项:
北京:科学出版社,2010
ISBN及定价:
978-7-03-027036-8 精装/CNY78.00
载体形态项:
381页:图;25cm
丛编项:
半导体科学与技术丛书
个人责任者:
杨德仁
学科主题:
半导体材料-测试
中图法分类号:
TN304.07
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书主要描述半导体材料的主要测试分析技术,介绍各种测试技术的基本原理、仪器结构、样品制备和分析实例,主要包括载流子浓度(电阻率)、少数载流子寿命、发光等性能以及杂质和缺陷的测试,其测试分析技术涉及到四探针电阻率测试、无接触电阻率测试、扩展电阻、微波光电导衰减测试、霍尔效应测试、红外光谱测试、深能级瞬态谱测试、正电子湮灭测试、荧光光谱测试、电子束诱生电流测试、I-V和C-V等。
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