MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:21
- 题名/责任者:
- 半导体材料测试与分析/杨德仁等著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-03-027036-8 精装/CNY78.00
- 载体形态项:
- 381页:图;25cm
- 丛编项:
- 半导体科学与技术丛书
- 个人责任者:
- 杨德仁 著
- 学科主题:
- 半导体材料-测试
- 中图法分类号:
- TN304.07
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要描述半导体材料的主要测试分析技术,介绍各种测试技术的基本原理、仪器结构、样品制备和分析实例,主要包括载流子浓度(电阻率)、少数载流子寿命、发光等性能以及杂质和缺陷的测试,其测试分析技术涉及到四探针电阻率测试、无接触电阻率测试、扩展电阻、微波光电导衰减测试、霍尔效应测试、红外光谱测试、深能级瞬态谱测试、正电子湮灭测试、荧光光谱测试、电子束诱生电流测试、I-V和C-V等。
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